中国科学院微电子研究所 齐月静 女 博导
作者：科大科院考研网 发表时间：2020-03-28 来源：研招办
科院考研推荐链接：
研究领域
招生信息
招生专业
080300-光学工程
招生方向
精密仪器与光学
教育背景
2002-09--2007-03 北京理工大学 硕博连读
学历
北京理工大学 -- 研究生
学位
北京理工大学 -- 博士
出国学习工作
工作经历
2007年~2009年，北京理工大学博士后流动站。
2009年~至今，中国科学院光电研究院光电工程部。
2009年~至今，中国科学院光电研究院光电工程部。
工作简历
2015-01~现在, 中国科学院光电研究院, 研究员
2009-06~现在, 中国科学院光电研究院, 副研究员
2007-04~2009-06,北京理工大学, 博士后
2009-06~现在, 中国科学院光电研究院, 副研究员
2007-04~2009-06,北京理工大学, 博士后
社会兼职
教授课程
专利与奖励
奖励信息
专利成果
（ 1 ） 一种调焦调平装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201110321960.4
（ 2 ） 一种调焦调平装置的起偏光路, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: ZL201120403041.7
（ 3 ） 一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201310032880.6
（ 4 ） 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201310041059.0
（ 5 ） 一种V形块位置转换机构, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201210505997.7
（ 6 ） 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104345429B
（ 7 ） 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104337492A
（ 8 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104375385B
（ 9 ） 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104101487B
（ 10 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN104913843B
（ 11 ） 一种激光干涉仪调整座, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN104990631A
（ 12 ） 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201611169812.4
（ 13 ） 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610548151.X
（ 14 ） 一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710247966.9
（ 15 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710242017.1
（ 2 ） 一种调焦调平装置的起偏光路, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: ZL201120403041.7
（ 3 ） 一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201310032880.6
（ 4 ） 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201310041059.0
（ 5 ） 一种V形块位置转换机构, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201210505997.7
（ 6 ） 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104345429B
（ 7 ） 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104337492A
（ 8 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104375385B
（ 9 ） 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104101487B
（ 10 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN104913843B
（ 11 ） 一种激光干涉仪调整座, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN104990631A
（ 12 ） 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201611169812.4
（ 13 ） 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610548151.X
（ 14 ） 一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710247966.9
（ 15 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710242017.1
出版信息
发表论文
（1） 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, analysis of effect of ambient temperature variation on measurement accuracy of shack-hartmann wavefront sensor, 中国激光, 2016, 第 2 作者
（2） Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, SPIE, 2016, 第 3 作者
（3） 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, 中国激光, 2016, 第 2 作者
（4） Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology, SPIE, 2015, 第 2 作者
（5） Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, SPIE, 2015, 第 2 作者
（6） 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析, 中国激光, 2015, 第 1 作者
（7） Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE Vol.9621(2015), 2015, 第 2 作者
（8） Effect of illumination parameters on the quality of wave-front diffracted by pinhole, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 2 作者
（9） 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究, 激光与光电子学进展, 2014, 第 2 作者
（10） A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 1 作者
（11） 基于光弹调制器的对准光路装调方法, Installation and Setting Method of Alignment System based on Photoelastic Modulator, 仪器仪表学报, 2012, 第 2 作者
（12） 基于FPGA的非标准二次群路的分接处理, 仪器仪表学报, 2008, 第 2 作者
（13） 基于虚拟仪器的大型温度场测试系统, 仪器仪表学报, 2008, 第 1 作者
（14） Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method, spie, 2007, 第 1 作者
（15） 提高二元计算全息图设计精度的新途径, 光学技术, 2007, 第 1 作者
（16） Compensator design for aspheric testing using virtual glass model, spie, 2007, 第 3 作者
（2） Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, SPIE, 2016, 第 3 作者
（3） 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, 中国激光, 2016, 第 2 作者
（4） Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology, SPIE, 2015, 第 2 作者
（5） Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, SPIE, 2015, 第 2 作者
（6） 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析, 中国激光, 2015, 第 1 作者
（7） Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE Vol.9621(2015), 2015, 第 2 作者
（8） Effect of illumination parameters on the quality of wave-front diffracted by pinhole, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 2 作者
（9） 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究, 激光与光电子学进展, 2014, 第 2 作者
（10） A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 1 作者
（11） 基于光弹调制器的对准光路装调方法, Installation and Setting Method of Alignment System based on Photoelastic Modulator, 仪器仪表学报, 2012, 第 2 作者
（12） 基于FPGA的非标准二次群路的分接处理, 仪器仪表学报, 2008, 第 2 作者
（13） 基于虚拟仪器的大型温度场测试系统, 仪器仪表学报, 2008, 第 1 作者
（14） Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method, spie, 2007, 第 1 作者
（15） 提高二元计算全息图设计精度的新途径, 光学技术, 2007, 第 1 作者
（16） Compensator design for aspheric testing using virtual glass model, spie, 2007, 第 3 作者
发表著作
科研活动
科研项目
（ 1 ） NA0.75光学系统样机攻关/投影曝光系统像质参数检测, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12
（ 2 ） 光学外差干涉测量技术研究, 主持, 院级, 2015-01--2016-05
（ 3 ） 高NA浸没光学系统关键技术研究/投影曝光系统系统参数检测, 主持, 国家级, 2017-05--2018-12
（ 4 ） 20W 4KHz ArF曝光光源研发/准分子激光器模块设计与检测平台研究, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12
（ 2 ） 光学外差干涉测量技术研究, 主持, 院级, 2015-01--2016-05
（ 3 ） 高NA浸没光学系统关键技术研究/投影曝光系统系统参数检测, 主持, 国家级, 2017-05--2018-12
（ 4 ） 20W 4KHz ArF曝光光源研发/准分子激光器模块设计与检测平台研究, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12
参与会议
（1）confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using shack-hartmann wavefront sensor 国际先进光刻技术会议 2016-02-24
（2）A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor 国际先进光学制造与检测学术会议 齐月静 2014-04-26
（3）Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method 国际先进光学制造与检测学术会议 qiyuejing 2007-08-16
（2）A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor 国际先进光学制造与检测学术会议 齐月静 2014-04-26
（3）Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method 国际先进光学制造与检测学术会议 qiyuejing 2007-08-16
合作情况
项目协作单位
指导学生
已指导学生
李伟超 02 19573
孟庆宾 02 20471
现指导学生
庄函 02 20471
马敬 02 63341
